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真空等離子清洗機

簡要描述:SPV-60真空等離子清洗機通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、原子、自由活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質來氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質,從而優化材料表面性能,實現清潔、改性、刻蝕等目的。

  • 產品型號:SPV-60
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2023-05-15
  • 訪  問  量:254

詳細介紹

  一、等離子體產品原理

  SPV-60真空等離子清洗機利用兩個電極形成電磁場,用真空泵實現有效的真空度,隨著氣體越來越稀薄,分子之間的間距及分子或離子的自由運動的距離也越來越長,受磁場作用發生碰撞而形成等離子體并產生輝光。等離子體在電磁場內的空間運動,不斷轟擊被處理物體表面,去除表面有機污染物或其它雜質,以此達到表面處理清洗、活化、刻蝕的效果。

  行業應用

  1、陶瓷:封裝、點膠前處理;

  2、手機行業:TP、中框、后蓋表面清洗活化;

  3、PCB/FPC行業:孔內鉆污及表面清潔、Coverlay表面粗化及清潔;

  4、表面粗化蝕刻:PI表面粗化、PPS蝕刻、半導體硅片PN結去除、ITO膜蝕刻;

  5、塑膠材料:Teflon特氟龍表面活化、ABS表面活化、以及其他塑料材質清洗活化;

  6、半導體行業:半導體封裝、攝像頭模組、LED封裝、BGA封裝、Wire Bond前處理;

  二、產品介紹1、產品概述SPV-60真空等離子清洗機(Plasma cleaner),氣體通過激勵電源離化成等離子態,等離子體作用于產品表面,清洗產品表面污染物,提高表面活性,增強附著性能。等離子清洗是一種新型的、環保、高效、穩定的表面處理方式。

  2、產品優勢

  (1)低耗能、耗氣產品。

  (2)便捷的收放板方式。

  (3)真空系統集成,占地面積小。

  (4)集成的控制系統設計,使操作更方便。

  (5)合理的等離子反應空間,使處理更均勻。

  (6)水平電極設計,可滿足軟性產品處理需求。

  (7)產品放置治具靈活多變,可適應不規則的產品。

  3、產品結構真空等離子體表面處理系統主要包括三個部分:真空腔及真空系統,等離子體發生器,控制系統。

產品結構

 ?。ˋ)真空腔及真空發生系統真空腔固定于機柜框架內,左右兩側為可拆門,因此內部的真空腔及真空系統的維修是極方便的。真空發生系統由波紋管、KF接頭、真空泵以及油霧過濾器組成,核心部件真空泵(真空泵組)。

 ?。˙)等離子體發生器等離子體發生器在20Pa-100Pa間給電極板施加電壓,產生低溫等離子體。利用高頻轉換技術形成高頻電壓加到電極板上,當真空腔內達到一定真空度時,產生等離子體放電現象,放電后電路會自動調節電壓到適當值,保證電路正常穩定放電。

 ?。–)控制系統本系統使用MCGS觸摸屏、西門子PLC、中文界面。

設備的工藝流程控制:真空泵啟動、擋板閥開啟、達到設定的真空度、通入工藝氣體、RF放電、工作時間到破真空工作完成,設備分自動和手動兩種方式。

  4、產品規格

真空等離子主機

設備尺寸

L950×W900×H1650mm

重量

350Kg

需求電源

AC380V,50/60Hz,5線,16A(總空開選型為C型以上)

等離子發生器規格

電源功率

射頻

中頻

0~600W

0-1000W

電源頻率

13.56MHz

40 KHz

真空系統

真空泵

雙級旋片泵(油泵):40m3/h

真空管路

全不銹鋼管路,以及高強度真空波紋管

材質

鋁合金(可定制不銹鋼腔體)

厚度

25mm

密封性

軍工級焊接密封

腔體內部尺寸

375×375×430mm(寬×高×深)

電極板有效尺寸

247×281mm(寬×深)

可用空間間距

22mm

電極板布置方式

水平布置,可活動抽取

工作托盤

標配一套,材質可選配(鋁材、鋼絲網)

工作空間

6層

工藝氣體

流量范圍

0~300SCCM

工藝氣體氣路

標配兩路,可定制。工藝氣體管路為鐵氟龍材質

控制系統

系統控制

PLC

交互方式

7寸觸控屏幕


  5、設備尺寸圖紙

  (1)主機尺寸圖紙

image.png

  (2)等離子腔體圖紙

image.png





  三、規格要求

  1、廠務規格要求

廠務規格要求

交流電源規格

電源:AC380V,50/60Hz,5線,16A(總空開選型為C型以上)

廠務排氣

流量:2.0 m3/min

廠務工作氣體要求

流量:1~10 L/min

壓力:3~7 kg/cm2

管徑:6×4 mm

材質:PU管

純度:99.99%以上

廠務壓縮空氣要求

流量:1~10 L/min

壓力:3~7 kg/cm2

管徑:6×4 mm

材質:PU管

露點:-40℃以下

Particle>0.3μm:10Pcs/ft3


  2、配置清單

配置清單

序號

名稱

型號和規格

數量

備注

1

主機

SPV-60

1

2

真空腔體

鋁合金真空腔體

1

PCS

3

激勵電源

射頻電源

中頻電源

1

頻率:13.56MHz;

功率0~600W

全自動真空電容匹配器

頻率:40KHz;

0~1000W;

4

PLC

德國西門子,S7-200

1

PCS

5

觸摸屏

昆侖通態,七寸屏幕,TPC7072GI

1

PCS

6

流量計

英國warwick品牌

2

PCS

7

真空泵組

飛越雙級旋片泵(油泵):40m3/h

1

8

真空計

英???/p>

1

PCS

9

說明書

SPV-60操作說明書

1


  3、驗收標準

驗收標準

項目

NO.

內容

硬件驗收

1

設備清單驗收

2

出廠報告

3

說明書

性能驗收

1

試用樣品進行處理,處理效果和均勻性滿足客戶驗收標準或者合同協議要求。

穩定性測試

1

連續10分鐘等離子清洗測試

2

試片水滴角測試

驗收日期

1

設備交付后 2 個月內必須完成驗收


  4、損耗清單

損耗清單

序號

名稱

型號和規格

數量

壽命時間

1

真空泵過濾芯

AF60

1PCS

6個月

2

真空泵油

A200

5L

3個月

3

腔門密封圈

Φ10

1PCS

1年

  注:耗材的使用壽命時間與現場的使用條件有關系,以上壽命時間僅供參考



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